低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為：
當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安穩物質，或使有毒有害物質轉變為沒有毒害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在1eV～10eV，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
電場的設計使廢氣粒子的運動速度較低，一般在零點幾秒內便能使廢氣粒子荷上足夠的電荷，帶電粒子在電場中會受到電場力（庫侖力）的作用，其結果是油煙粒子被吸附到陽極上。因此凈化率非常高，而且特別適用于捕捉粒徑較小和重量較輕的廢氣粒子。

1 有效的處理效果：低溫等離子廢氣處理設備效率可以去除到90%
2 運行費用低：工業等離子廢氣凈化設備采用專利的蜂窩電場、臥式結構，阻力小。減少了風機的阻力，降低了運行費用；設備本身采用先進的高壓控制系統和高壓電源，轉換效率高，耗電低。
3 維護方便：需要定時清洗的部件為可拆卸的模塊化組合，這樣既方便設備日常的清洗維護，也有利于這些部件的維修替換。
4 可升級性：設備都采用標準法蘭連接的組合式結構，使設備具有可升級性。模塊化凈化單元可以靈活組合，根據不同的凈化處理量 及凈化率要求，單元數量可作適應性調整。

5 占地面積小：設備的電源和設備在一起，無需另建電源控制室，節省廠房面積。
6 運行的持續性：采用分組供電的方式；即使某一組電場放電或故障，其他組還可以正常工作，不影響設備的運行，保證設備運行的持續性。
7 設計周密：高電壓電源精心設計成環氧樹脂嚴密封閉的單元體，采用分組供電、分組控制，使用安穩可靠。
8 安穩性：設備配有防火網、防火閥、溫度檢測系統、消防滅火系統，確保設備安穩穩定運行。
9 氣流方向：臥式結構，用戶安裝的時候，風管、凈化設備和抽風機可以方便地橫向排列起來，方便布局，減少風阻；同時便于凈化器均風，從而提高除氣效率。
10 陰陽極距采用窄間距結構：單位體積里容納了較大的陽極面積，體積小，除氣效果好
11 設備的安裝：設備較輕，無需特別的基礎。主體設備在工廠安裝調試好。安裝成本低、時間短，容易達到設計效果
12 高壓和低壓控制:帶芯片控制的高壓控制電路、帶PLC的智能低壓控制。可實現安穩、可靠和智能化運行。