生物處理技術最早是應用于廢氣脫臭，而隨著對VOCS工業廢氣處理技術研究的不斷深入，該技術逐步被應用于揮發性有機污染物的治理領域。

　　其原理是將化工企業中產生廢氣流經帶有液體吸收劑的吸收裝置，該裝置中培養有經過馴化的特種微生物，該種微生物可將廢氣分解代謝，從而達到廢氣治理的目的。

　　按照工藝科分為生物洗滌技術、生物過濾技術和生物滴濾技術等，其對應的處理裝置分別為生物洗滌塔、生物過濾池和生物滴濾塔等。

　　不同化工企業中VOCs組成成分、濃度和氣體流量均不同，因此在處理技術的選擇上需靈活運用。而且化工企業在生產過程中產生的VOCs均以混合物的形式排放，由此采用組合治理技術，既能實現污染物的達標排放，同時降低了污染治理的費用。

　　光催化氧化技術是空間內揮發性有機污染物凈化最受關注的技術，其可在室溫的條件下利用紫外光降解有機污染物，將其轉化為無危害的二氧化碳和水。

　　等離子體技術則可以和催化相結合，能夠大大提高VOCS工業廢氣處理的脫除效率，以及能量效率，是新型的VOCs無害化處理技術。

　　生物處理技術則最有希望代替燃燒法和吸附法廢氣處理技術。